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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "許覺良".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="藍寶石基板"


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    計算藍寶石基板之研磨液化學反應層厚度之理論模式建立與實驗分析
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 丁晧洋 指導教授: 林榮慶
    • 本文創新提出受研磨液影響藍寶石晶圓基板的化學反應之估算藍寶石晶圓基板化學反應層厚度的理論模式。本文亦進行原子力顯微鏡實驗,估算不同研磨液浸泡條件之比下壓能值。本實驗之研磨液條件為研磨液浸泡時間5分鐘…
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    • 全文公開日期 2019/07/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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